Yarı İletken Laboratuvarları için Yağsız Hava Kompresörü

Hassas araştırma tesisleri için güvenilir şebeke hatları kurmak amacıyla, Yarı İletken Laboratuvarları için Çin Yağsız Hava Kompresörü tedarikçilerinden kaynak alın. DECHUAN'ın yüksek saflıkta hava çözümleri, eser miktardaki hidrokarbonları ortadan kaldırmak için çok katmanlı karbon izolasyon contaları kullanır ve kritik silikon aşındırma için saf gaz kalitesini garanti eder.

Kritik Temiz Oda Gazı Saflık Gereksinimleri

Yarı iletken imalatında ve ince film litografide, hava hattından taşınan tek bir mikroskobik yağ buharı damlası bile tüm üretim partisini mahvedebilir. Bu özel ürün, mutlak en yüksek saflık standartlarını karşılayacak şekilde tasarlanmıştır:

• TÜV Sertifikalı Sınıf 0 Hava Dağıtımı: Sistemlerimiz değişken çalışma sıcaklıklarında sıkı testlere tabi tutulur. Bağımsız analiz, çıkış hava akışında kesinlikle sıfır yağ izini doğruladı.

• Korozyonsuz Dahili Hava Yolları: Sıkıştırma odasının aşağı akışındaki her boru parçası, soğutucu demeti ve ayırma matrisi, pas pullarının temiz oda hava hatlarını kirletmesini önlemek için birinci sınıf paslanmaz çelikten yapılmıştır.

• Gelişmiş Elektronikon® Entegrasyonu: Entegre kontrolör, operasyonel ölçümleri yakından takip eder ve laboratuvar ızgarasına kirli havanın girmemesini sağlamak için proaktif güvenlik kapatmalarına sahiptir.

Elektronikte Mikro Kirliliğin Yüksek Maliyeti

Yarı iletken levha üretiminde, tek bir damlacık yağ aerosolü tüm temiz oda ortamını kirletebilir, binlerce silikon levhayı mahvedebilir ve milyonlarca üretim süresinin kaybına neden olabilir. Geleneksel hava kompresörleri bu nanometre ölçekli işlemler için gereken mutlak sıfır hidrokarbon saflığını garanti edemez.

Yarı İletken Laboratuvarları için özel Yağsız Hava Kompresörü, saf proses güvenliğini garanti eder:

• Sertifikalı SINIF 0 Hava Akışı: Mutlak sıfır yağ varlığını sağlamak için TÜV tarafından aşırı termal ve basınç aralıklarında sıkı bir şekilde test edilmiştir.

• Partikül İçermeyen İç Parçalar: Paslanmaz çelik ön soğutucular ve yıldız kanatlı ısı eşanjörleri, hava yolundaki oksidasyon pullarını veya kimyasal saçılımını ortadan kaldırır.

• Elektronik İzleme Kalkanı: Proaktif bakım alarmları ve otomatik arıza kapatmaları, sistem sapmalarını temiz oda araçlarınıza ulaşmadan önler.

Teknik Saflık Parametreleri

• Sistem Güç Değeri: 55kw - 900kw yüksek yoğunluklu konfigürasyonlar.

• Hacimsel Dağıtım Hızı: 4,2 - 148,5 m³/dak temiz akış çıkışı.

• Yağ İçeriği Sınıflandırması: ISO 8573-1 Sınıf 0 tamamen yağsız doğrulama.

• Soğutma Düzeni: Kimyasal gaz çıkışını önleyen paslanmaz çelik sıvı soğutma.

Ünitenin performans referans koşulları, ISO 1217'nin Ek C, 4. baskısı (2009)'na göre ölçülmüştür:

· Bağıl nem: %0

· Mutlak giriş basıncı: 1 bar

· Giriş sıcaklığı: 20°C Tahliye hızı (FAD) aşağıdaki çalışma basınçlarında ölçülmüştür:

Sabit hız tipi:

·  -7,5 bar tipi: 7 bar

· -8,6 bar tipi: 7 bar

· -10 bar tipi: 9 bar

VSD tipi:

· -8,6 bar tipi: 7 bar

· -10,4 bar tipi: 9 bar

· (2) İş istasyonunun A Sınıfı ağırlıklı emisyon ses basıncı seviyesi (LpWSAd). ISO 2151:2004'e göre ölçülmüştür (150 9614/2 ses yoğunluğu tarama yöntemi kullanılarak). Yeni eklenen düzeltme faktörü, test koduna uygun, tamamen belirsiz bir değerdir (KpAd).

· (3) Ağırlık yalnızca referans amaçlıdır; Verilen gerçek ağırlık geçerli olacaktır.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

ISO 1217 Ek C, 4. Baskı (2009)'ya göre ünite performans referans koşulları aşağıdaki gibidir:

· Bağıl nem: %0

· Mutlak giriş basıncı: 1 bar

· Giriş sıcaklığı: 20°C

Yer değiştirme FAD aşağıdaki çalışma basınçlarında ölçülür:

Sabit hızlı modeller:

-7,5 bar modeller: 7 bar

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10 bar modeller: 9 bar

VSD modelleri:

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10,4 bar modeller: 9 bar

(2) İş istasyonunun A Sınıfı ağırlıklı emisyon ses basıncı seviyesi (LpWSAd). ISO 2151:2004'e (ISO 9614/2 ses yoğunluğu tarama yöntemi) göre ölçülmüştür. Yeni eklenen düzeltme faktörü KpAd belirsizdir ve test koduna uygundur.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Ağırlık yalnızca referans amaçlıdır; gerçek ağırlık geçerli olacaktır.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Bağıl nem:0%

-Mutlak giriş basıncı: 1bar

-Giriş sıcaklığı: 20°C

Deşarj hızı (FAD) aşağıdaki çalışma basınçlarında ölçülmüştür

Sabit hız tipi:

-7,5 bar tipi: 7 bar

-8,6 bar tipi: 7 bar

-10 bar tipi: 9 bar

VSD türü:

-8,6 bar tipi: 7 bar

-10,4 bar tipi: 9 bar

(2) İş istasyonunun A Sınıfı ağırlıklı emisyon ses basıncı seviyesi (LpWSAd).

ISO 2151:2004'e göre ölçülmüştür (150 9614/2(ses yoğunluğu tarama yöntemi) kullanılarak).

Yeni eklenen düzeltme faktörü, test koduna uygun, tamamen belirsiz bir değerdir (KpAd).

(3) Ağırlık yalnızca referans amaçlıdır; Verilen gerçek ağırlık geçerli olacaktır.

ZR300-750

Ünitenin performans referans koşulları, ISO 1217'nin Ek C, 4. baskısı (2009)'na göre ölçülmüştür:

· Bağıl nem: %0

· Mutlak giriş basıncı: 1 bar

· Giriş sıcaklığı: 20°C Tahliye hızı (FAD) aşağıdaki çalışma basınçlarında ölçülmüştür:

Sabit hız tipi:

·  -7,5 bar tipi: 7 bar

· -8,6 bar tipi: 7 bar

· -10 bar tipi: 9 bar

VSD tipi:

· -8,6 bar tipi: 7 bar

· -10,4 bar tipi: 9 bar

· (2) İş istasyonunun A Sınıfı ağırlıklı emisyon ses basıncı seviyesi (LpWSAd). ISO 2151:2004'e göre ölçülmüştür (150 9614/2 ses yoğunluğu tarama yöntemi kullanılarak). Yeni eklenen düzeltme faktörü, test koduna uygun, tamamen belirsiz bir değerdir (KpAd).

· (3) Ağırlık yalnızca referans amaçlıdır; Verilen gerçek ağırlık geçerli olacaktır.

ZR 200X-400X

Ünitenin performans referans koşulları, ISO 1217'nin Ek C, 4. baskısı (2009)'na göre ölçülmüştür:

· Bağıl nem: %0

· Mutlak giriş basıncı: 1 bar

· Giriş sıcaklığı: 20°C Tahliye hızı (FAD) aşağıdaki çalışma basınçlarında ölçülmüştür:

Sabit hız tipi:

·  -7,5 bar tipi: 7 bar

· -8,6 bar tipi: 7 bar

· -10 bar tipi: 9 bar

VSD tipi:

· -8,6 bar tipi: 7 bar

· -10,4 bar tipi: 9 bar

· (2) İş istasyonunun A Sınıfı ağırlıklı emisyon ses basıncı seviyesi (LpWSAd). ISO 2151:2004'e göre ölçülmüştür (150 9614/2 ses yoğunluğu tarama yöntemi kullanılarak). Yeni eklenen düzeltme faktörü, test koduna uygun, tamamen belirsiz bir değerdir (KpAd).

· (3) Ağırlık yalnızca referans amaçlıdır; Verilen gerçek ağırlık geçerli olacaktır.

Temiz Oda Laboratuvarı Kullanıcı Örnek Olay İncelemesi

Asya'daki bir elektronik üreticisi, yüksek saflıkta nitrojen üretim döngüleri ve pnömatik test kolları sağlamak için DECHUAN'ın özel hava sistemini kurdu. Daha önce standart kompresörler, eser miktarda yağ buharının hat içi filtrelerden geçmesine, litografi lenslerini kaplamasına ve levha kaplamalarda mikro çatlaklara neden olmasına izin veriyordu. Laboratuvar, Yarı İletken Laboratuvarları için Yağsız Hava Kompresörünü kurduktan sonra, yağla ilgili sıfır hat kirliliği vakası bildirdi ve iki yıllık sürekli çalışma boyunca temiz oda temizliği ve yeniden kalibrasyon maliyetlerinden önemli ölçüde tasarruf etti.

Özel Bileşen Uyarlaması ve Kontrolü

• Paslanmaz Çelik Malzeme Yükseltmesi: Katı mikro kirlenme kurallarına uymak için tüm standart dahili döküm bileşenleri yüksek kaliteli paslanmaz çelikle değiştiriyoruz.

• Gelişmiş İletişim Protokolleri: Ünite, temiz oda kontrol merkezlerinin hava ölçümlerini uzaktan izlemesine olanak tanıyan özel iletişim protokolleriyle önceden yüklenmiştir.

• Kompakt Yapısal Kaplama Alanı: İç düzen, kaplama alanını en aza indirecek şekilde optimize edilmiştir, bu da laboratuvarın dar bodrum katındaki kullanım alanlarına kurulumunu kolaylaştırır.

Endüstriyel Alıcı SSS

S: Bu kompresörü doğrudan ultra yüksek saflıkta (UHP) filtreleme döngülerine bağlayabilir miyiz?

C: Evet, hava çıkışımız gelişmiş temiz oda kurutucuları ve mikron altı partikül filtreleme sistemleriyle tamamen uyumludur. Ham hava sıfır yağ buharı içerdiğinden, kullanım noktası özel filtreleriniz yağ buharıyla tıkanmaz ve filtre ömrünü uzatır.

S: Z tipi contalar dişli grubundan sıfır yağ geçişi nasıl sağlar?

C: Yarı İletken Laboratuvarları için Yağsız Hava Kompresörü, yağla yağlanan dişli muhafazası ile kuru sıkıştırma odası arasında fiziksel bir atmosferik havalandırma boşluğuna sahiptir. Özel temassız karbon halka contalar, negatif basınç kanallarıyla eşleştirilerek dişli yağı buharının temiz hava akışına girmesinin tamamen engellenmesini sağlar.

S: Dahili sıcaklık sensörü anormal bir okuma tespit ederse ne olur?

C: Elektronikon® kontrol cihazı hayati verileri saniyede birden çok kez örnekler. Herhangi bir aşamada bir sıcaklık artışı tespit edilirse, sistem anında otomatik kapatmayı tetikler ve izolasyon valflerini kapatarak soğutulmamış havanın asla laboratuvarınızın hassas ekipmanına akış yönünde akmamasını sağlar.